Phương pháp chụp ảnh vi điện tử truyền qua (TEM)

48 
Trong TEM, điện tử được sử dụng thay cho ánh sáng (trong kính hiển vi 
quang học). Điện tử được phát ra từ súng phóng điện tử. Có hai cách để tạo ra chùm 
điện tử: 
Sử dụng nguồn phát xạ nhiệt điện tử: Điện tử được phát ra từ một catốt được 
đốt nóng (năng lượng nhiệt do đốt nóng sẽ cung cấp cho điện tử động năng để thoát 
ra khỏi liên kết với kim loại. Do bị đốt nóng nên súng phát xạ nhiệt thường có tuổi 
thọ không cao và độ đơn sắc của chùm điện tử thường kém. Các chất phổ biến dùng 
làm catốt là W, Pt, LaB
6
... 
Sử dụng súng phát xạ trường (Điện tử phát ra từ catốt nhờ một điện thế lớn 
đặt vào vì thế nguồn phát điện tử có tuổi thọ rất cao, cường độ chùm điện tử lớn và 
độ đơn sắc rất cao, nhưng có nhược điểm là rất đắt tiền và đòi hỏi môi trường chân 
không siêu cao. 
Sau khi thoát ra khỏi catốt, điện tử di truyển đến anốt rỗng và được tăng tốc 
dưới thế tăng tốc V (một thông số quan trọng của TEM). Lúc đó, điện tử sẽ thu 
được một động năng: 
Với thế tăng tốc V = 100 kV, ta có bước sóng điện tử là 0,00386 nm. Nhưng 
với thế tăng tốc cỡ 200 kV trở nên, vận tốc của điện tử trở nên đáng kể so với vận 
tốc ánh sáng, và khối lượng của điện tử thay đổi đáng kể, do đó phải tính theo công 
thức tổng quát (có hiệu ứng tương đối tính): 
Là thấu kính ghi nhận chùm điện tử đầu tiên từ mẫu vật và luôn được điều 
khiển sao cho vật sẽ ở vị trí có khả năng lấy nét khi độ phóng đại của hệ được thay 
đổi. Vật kính có vai trò tạo ảnh, việc điều chỉnh lấy nét được thực hiện bằng cách 
thay đổi dòng điện chạy qua cuộn dây, qua đó làm thay đổi tiêu cực của thấu kính. 
Chụp ảnh hiển vi điện tử truyền qua TEM trên thiết bị TEM Trcnai G2 20S-
TWIN tại Trường Đại học Khoa học Tự nhiên/Đại học Quốc gia Hà Nội. Độ phân 
giải kích thước nguyên tử, điện áp 100 KV. Mẫu được đưa lên lưới đồng có phủ 
màng cacbon và tiến hành phân tích. 

49 

tải về 4.21 Mb.

Chia sẻ với bạn bè của bạn: