KỸ SƯ TÀi năng ngành vật lý KỸ thuậT (Chuyên ngành: Vật liệu điện tử và công nghệ nano)


CHƯƠNG IX. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ NĂNG LƯỢNG TỔN HAO CỦA ĐIỆN TỬ



tải về 2.04 Mb.
trang17/23
Chuyển đổi dữ liệu07.04.2018
Kích2.04 Mb.
#36834
1   ...   13   14   15   16   17   18   19   20   ...   23

CHƯƠNG IX. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ NĂNG LƯỢNG TỔN HAO CỦA ĐIỆN TỬ


IX. 1. Nguyên lý

IX. 2. Thiết bị đo phổ

IX. 3. Phân tích và đánh giá kết quả

IX. 4. Ứng dụng



IX. 5.Thảo luận

CHƯƠNG IX. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ NĂNG LƯỢNG TỔN HAO CỦA ĐIỆN TỬ





12

CHƯƠNG X. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ QUANG ĐIỆN TỬ TIA X (XPS)

X.1. Lý thuyết cơ bản

X.2. Thiết bị ghi phổ

X.3. Hình dạng và sự dịch chuyển đỉnh phổ

X.4. Phương pháp phân tích và đánh giá kết quả

X.5. Ứng dụng



X.6. Thảo luận







13

CHƯƠNG XI. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ ĐIỆN TỬ AUGER (AES)

XI.1. Cơ sở lý thuyết của phương pháp

XI.2. Quá trình Ion hoá nguyên tử

XI.3. Phát xạ điện tử

XI.4. Phân tích phổ đo được

XI.5. Ứng dụng



XI.6. Thảo luận

CHƯƠNG XI. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ ĐIỆN TỬ AUGER (AES)




14

CHƯƠNG XII. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHÂN TÍCH PHỔ ION


XII.1. Mở đầu, giới thiệu chùm ion

XII..2. Phổ khối lượng ion thứ cấp (secondary Ion Mass Spectrometry -SIMS)



XII.3. Phổ ion tán xạ ngược Rutherford (Rutherford Backscattering Spectrometry)

XII.4. Thảo luận

CHƯƠNG XII. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHÂN TÍCH PHỔ ION




15

CHƯƠNG XIII. KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ TRỞ KHÁNG PHỨC

XIII.1. Giới thiệu chung

XIII.2. Tổng quan về trở kháng điện

XIII.3. Các hướng phân tích dữ liệu trở kháng

XIII.4. Thực nghiệm

XIII.4..1 - Chuẩn bị mẫu đo

XIII.4..4..2 - Kỹ thuật đo thực nghiệm

XIII..5. Đặc trưng chung của biểu đồ trở kháng của hệ điện ly rắn

XIII.6. Trở kháng tần số cao - các đặc tính khối.

XIII.6.1 - Sự hồi phục độ dẫn thuẩn

XIII.6.2 - Các hiệu ứng hình học

XIII.6.3 - Phân cực điện áp








12. Nội dung các bài thí nghiệm (thực hành, tiểu luận, bài tập lớn)

TN1: Đo phổ hấp thụ UV-VIS < 2 giờ/1nhóm 3 sinh viên>

TN2: Đo phổ huỳnh quang < 2 giờ/1nhóm 3 sinh viên>

TN3: Đo phổ trở kháng phức < 2 giờ/1nhóm 3 sinh viên>


PH4040 Vật lý và kỹ thuật màng mỏng


1. Tên học phần: Vật lý và kỹ thuật màng mỏng

2. Mã số: PH4040

3. Khối lượng: 3(2-1-1-6)

  • Lý thuyết: 30 tiết

  • Bài tập/BTL: 15 tiết

  • Thí nghiệm: 2 bài (x 4 giờ)

4. Đối tượng tham dự: Sinh viên đại học các ngành Vật lý, công nghệ vật liệu từ học kỳ 7

5. Điều kiện học phần:

  • Học phần tiên quyết:

  • Học phần học trước: PH3110

  • Học phần song hành:

6. Mục tiêu học phần và kết quả mong đợi

Cung cấp cho người học những kiến thức cơ bản về quá trình hình thành mầm và phát triển tạo màng mỏng, các kỹ thuật và thiết bị để chế tạo màng mỏng, các phương pháp kiểm tra, đánh giá chất lượng màng mỏng.

Sau khi hoàn thành học phần này, yêu cầu sinh viên có khả năng:


  • Lý giải quá trình phát triển tạo thành màng mỏng, nắm bắt các kỹ thuật và thiết bị chế tạo màng mỏng bằng phương pháp lắng đọng vật lý, lắng đọng hóa học từ pha hơi

  • Phân tích và đánh giá được ảnh hưởng của các thông số công nghệ, chất lượng đế đến chất lượng màng tạo thành.

  • Vận hành một số thiết bị để chế tạo màng mỏng trên đế rắn.

Mức độ đóng góp cho các tiêu chí đầu ra của chương trình đào tạo: <Xác định theo 3 loại: GT (chỉ giới thiệu), GD (giảng dạy) hoặc SD (yêu cầu SV sử dụng, rèn luyện) để đáp ứng với những tiêu chí con trong chuẩn đầu ra của chương trình đào tạo>

Tiêu chí

1.1

1.2

1.3

2.1

2.2

2.3

2.4

2.5

2.6

3.1

3.2

3.3

4.1

4.2

4.3

4.4

4.5

Mức độ

GT

GD

GD

GD

GD

GD

GD

GD

GD

SD

SD

SD

GT

GD

GD

SD

SD

7. Nội dung vắn tắt học phần:

- Những khái niệm cơ bản và các phương pháp chế tạo màng mỏng: PVD, CVD, epitaxy.

- Các tính chất cơ bản của màng mỏng: tính chất điện, tính chất từ, tính chất cơ và những ứng dụng của chính của màng mỏng.

8. Tài liệu học tập:


  • Sách giáo trình:

  • Bài giảng:

  • Phần mềm hoặc các phương tiện học tập khác nếu cần:

  • Sách tham khảo:

1. The Material Science of Thin Films, Milton Ỏhring, Academic Press, 1992.

2. Thin film material technology, Kiyotaka Wasa, William Andrew, Inc, 2004

3. Thin Film Materials: Stress, Defect Formation and Surface Evolution, L.B.Freund, Cambridge University, 2003.

4. Vật lý và kỹ thuật màng mỏng, Nguyễn Năng Định, NXB ĐHQGHN, 2005



9. Phương pháp học tập và nhiệm vụ của sinh viên:

  • Tham dự đầy đủ các buổi học theo quy chế

  • Hoàn thành bài tập và trình bày báo cáo seminar theo yêu cầu

  • Hoàn thành đầy đủ các bài thí nghiệm của học phần

10. Đánh giá kết quả:

  • Điểm quá trình: trọng số 0.3

Tham dự giờ giảng, hoàn thành báo cáo Seminar

Làm thí nghiệm đầy đủ, có báo cáo và bảo vệ.



  • Thi cuối kỳ (tiểu luận hoặc tự luận hoặc vấn đáp): trọng số 0.7

11. Nội dung và kế hoạch học tập cụ thể


Tuần

Nội dung

Giáo trình

BT, TN,…

1

Phần I. VẬT LÝ MÀNG MỎNG

Mở đầu

Chương I. Sự tạo thành màng mỏng

I.1. Lý thuyết ngưng tụ và phát triển mầm

I.1.1. Nhiệt động ngưng tụ tạo mầm

I.1.2. Quá trình phát triển mầm.


Sách tham khảo và bài giảng




2

I.2. Quá trình hình thành và phát triển tạo màng

I.2.1. Lý thuyết tạo màng

I.2.2. Các mô hình tích tụ và phát triển màng.
Sách tham khảo và bài giảng

Bài tập

3

Chương II. Cấu trúc của màng mỏng

II.1. Các loại cấu trúc của màng mỏng

II.2. Các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc màng mỏng

II.3. Khuyết tật trong màng mỏng
Sách tham khảo và bài giảng




4

Chương III. Tính chất của màng mỏng

III.1. Tính chất cơ

III.2. Tính chất điện

III.3. Tính chất từ và siêu dẫn

III.4. Tính chất quang.
Sách tham khảo và bài giảng




5

Phần II. KỸ THUẬT MÀNG MỎNG

Chương IV. Vật lý chân không

IV.1. Lý thuyết động học các chất khí

IV.2. Quá trình vận chuyển khí

IV.3. Quá trình bơm khí và hệ bơm


Sách tham khảo và bài giảng

Bài tập

6

CHƯƠNG V. Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp lắng đọng vật lý từ pha hơi (PVD).

V.1. Lý thuyết quá trình bốc bay chân không

V.1.1. Nguyên tử chuyển sang trạng thái khí

V.1.2. Vận chuyển đến bề mặt đế

V.1.3. Lắng đọng trên đế tạo màng


Sách tham khảo và bài giảng

Bài tập

7

V.2. Bốc bay nhiệt

V.2.1. Bốc bay nhiệt truyền thống

V.2.1.1. Bốc bay bằng dây và lá kim loại

V.2.1.2 Chén bốc bay và vật liệu chén
Sách tham khảo và bài giảng

Thi nghiệm 1

8

V.2.2. Các phương pháp bốc bay nhiệt khác.

V.3.1. Bốc bay bằng chùm tia điện tử



V.3.2. Bốc bay bằng laze xung

Sách tham khảo và bài giảng




9

V.3. Phương pháp phún xạ catôt

V.3.1. Lý thuyết về phóng điện phún xạ

V.3.1.1. Thiết bị và các phương pháp

V.3.1.2. Phóng điện phún xạ
Sách tham khảo và bài giảng

Bài tập




10

V.3.2. Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp phún xạ

V.3.2.1. Cơ chế phún xạ

V.3.2.2. Hiệu suất phún xạ

V.3.2.3. Các yếu tố ảnh hưởng đến tốc độ lắng đọng
Sách tham khảo và bài giảng

Thí nghiệm 2

Bài tập


11

CHƯƠNG V. Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp lắng đọng hóa học từ pha hơi (CVD).

V.1. Quá trình lắng đọng hóa học từ pha hơi

V.2. Các loại phản ứng

V.3. Nhiệt động học của quá trình CVD



V.4. Sự vận chuyển khí, động học của sự phát triển màng

Sách tham khảo và bài giảng

Bài tập

12

V.5. Các hệ lắng đọng hóa học từ pha hơi và kỹ thuật tạo màng

Sách tham khảo và bài giảng




13

Chương VI. Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp epitaxy

VI.1. Phương pháp epitaxy

VI.2. Epitaxy từ pha hơi


Sách tham khảo và bài giảng

Bài tập

14

VI.3. Epitaxy từ pha lỏng,

VI.4. Epitaxy chùm phân tử



Sách tham khảo và bài giảng

Bài tập

15

Chương VII. Đo lường kiểm tra

VIII.1. Các phương pháp đo bề dày

VIII.2. Các phương pháp kiểm tra cấu trúc.

VIII.3. Các phương pháp đo tính chất điện

VIII.4. Các phương pháp đo tính chất quang


Sách tham khảo và bài giảng




12. Nội dung các bài thí nghiệm

TN1: Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp bốc bay nhiệt, 4 giờ, 2 buổi)

TN2: Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp phún xạ catốt, 4 giờ, 2 buổi)




tải về 2.04 Mb.

Chia sẻ với bạn bè của bạn:
1   ...   13   14   15   16   17   18   19   20   ...   23



Cơ sở dữ liệu được bảo vệ bởi bản quyền ©hocday.com 2024
được sử dụng cho việc quản lý
    Quê hương
BÁO CÁO
Tài liệu