Ứng dụng trong các quá trình oxi hóa các hợp chất hữu cơ [3,5,11,25,28]

5 
O
OH
4NiOOH + H2O +
4Ni(OH)2 +
O
(1.13)
1.2.. C c phƣơng ph p ch tạo màng m ng kim oại 
Hiện nay có nhiều phương pháp chế tạo màng mỏng nhưng tùy vào từng tính 
chất, ứng dụng, điều kiện sẵn có mà ta sử dụng phương pháp cho phù hợp.
1.2.1. Phương pháp phún xạ [2] 
Sơ đồ mô tả cơ chế phún xạ do va chạm được trình bày trên hình 1.1a, trong 
đó ion có năng lượng đủ lớn bắn phá bề mặt của bia phún xạ. Sự va chạm mạnh 
giữa ion và nguyên tử của bia khiến nguyên tử có thể thoát ra khỏi bề mặt bia. Các 
nguyên tử thoát khỏi bia tạo ra dòng hơi. Một phần dòng hơi này sẽ lắng đọng lên 
đế tạo thành màng mỏng. Trong phún xạ cao áp một chiều, ion bắn ra từ plasma 
khối, mà trạng thái plasma này được hình thành bởi nguồn cao áp một chiều (hình 
1.1b).
Hình 1.1. Phương pháp phún xạ: 
a) Cơ chế phún xạ va chạm.
b) Phân bố điện thế trong phún xạ cao áp một chiều.
c) Quá trình trao đổi điện tích trong vỏ catốt plasma.

6 
Ion được nhận thêm năng lượng khi nó chuyển động trong lớp vỏ catốt vùng 
điện tích không gian ngăn cách bia (catốt phún xạ) với khối plasma (anốt trong 
phún xạ trên hình 1.1 c ng chính là đế). Động năng của ion bắn vào bia quyết định 
hiệu suất bắn phá - số nguyên tử thoát ra khỏi bia trên một ion bắn phá (ion tới). Giá 
trị động năng lớn nhất của một ion có được phụ thuộc vào điện thế rơi trên catốt, mà 
trong kỹ thuật phóng điện phún xạ điện thế này còn lớn hơn cả điện áp một chiều do 
nguồn cao áp cung cấp (điều này được minh họa trên hình 1.1b).
Trong thực tế, động năng của các ion va chạm bị giảm bởi quá trình tương 
tác trao đổi điện tích giữa ion và nguyên tử ở trong lớp vỏ catốt (hình 1.1c). Khi 
chuyển động va chạm, ion có thể bị trung hòa điện tích. Do đó, nó chỉ còn lại một 
phần động năng lớn nhất mà nó có được lúc đầu. Thế nhưng, tương tác trao đổi điện 
tích ấy lại dẫn đến một ion mới được hình thành, ion này được gia tốc hướng về 
catốt. Kết quả cuối cùng là, trong tương tác trao đổi điện tích thì năng lượng bắn 
phá của một hạt giảm đi, còn tổng số hạt bắn phá lại tăng lên (chúng ta dùng từ 
“hạt” để chỉ khái niệm chung cho cả ion và nguyên tử). Hình 1.1c mô tả hiện tượng 
này: một ion đi vào vỏ catốt đã chuyển thành ba hạt bắn phá, tức là một ion và hai 
hạt trung tính. Trong trường hợp này mỗi một hạt sẽ bắn phá catốt với một động 
năng bằng khoảng 1/3 giá trị động năng lớn nhất ban đầu.

tải về 1.38 Mb.

Chia sẻ với bạn bè của bạn: