Nghiên cứu công nghệ và các điều kiện chế tạo Ống nano cacbon đơn tường swcnts định
tải về 458.96 Kb. Chế độ xem pdf
|
- Điều hướng trang này:
- 2.1 Hệ thiết bị CVD nhiệt
| CHƢƠNG 2. THỰC NGHIỆM
Trong luận văn này, toàn bộ phần thực nghiệm như việc chuẩn bị đế Si, chế tạo mẫu, quay phủ xúc tác (spin-coating) và tiến hành các thí nghiệm CVD nhiệt được chúng tôi thực hiện trên các thiết bị tại Phòng Vật liệu Cacbon nano và Phòng thí nghiệm trọng điểm, Viện Khoa học Vật liệu, Viện Khoa học và Công nghệ Việt nam. 2.1 Hệ thiết bị CVD nhiệt Hệ thiết bị chế tạo ống nano cacbon đơn tường được xây dựng và đặt tại Phòng Vật liệu Cacbon nano. Đây là hệ thiết bị điện tử hoàn toàn tự động, gồm 3 bộ phận chính là: 1) Lò nhiệt UP 150; 2) Flowmeter số và bộ điều khiển điện tử Flowmeter số; 3) Hệ thống khí, các khớp nối và đường dẫn khí. Lò nhiệt UP 150 được nhập từ Nhật Bản, đây là lò nhiệt điện tử tự động có hiển thị số, toàn bộ quá trình nâng nhiệt, hạ nhiệt, cài đặt các giai đoạn nhiệt cho quá trình CVD được thực hiện với độ chính xác gần như tuyệt đối. Hình 2.2. a) Lò nhiệt CVD UP 150; b) hình bộ phận điều khiển điện tử của lò Nguyên lý cấu tạo của lò nhiệt UP 150 sử dụng dây may so bọc bằng gốm cách điện chịu được nhiệt độ cao, lò nhiệt sẽ được đốt bằng hệ hai dây may so này, chúng nằm bao quanh ống thạch anh, do vậy hệ lò này có khả năng nâng nhiệt rất nhanh. Gốm cách nhiệt có tác dụng giúp cho nhiệt độ lò ổn định, hạn chế tỏa nhiệt ra môi trường xung quanh. Lắp lò được thiết kế có thể giúp dễ dàng đóng mở lò và đảm bảo được độ kín, tránh nhiệt tỏa ra ngoài. Việc kiểm soát được lưu lượng khí cần sử dụng trong quá trình CVD có vai trò rất quan trọng, và ảnh hướng lớn đến kết quả chế tạo sản phẩm. Toàn bộ hệ thiết bị điều khiển dòng a) b) 3 khí mà chúng tôi sử dụng là hoàn toàn tự động, và đạt độ chính xác gần như tuyệt đối. Hệ thiết bị này gồm hai bộ phận: bộ điều khiển lưu lượng khí điện tử GMC 1200, và các flowmeters SEC – E40 khí điện tử. Trong quá trình làm thí nghiệm, chúng ta có thể cài đặt các giá trị lưu lượng khí (đơn vị: sccm) sẵn trên GMC-1200, thiết bị này sẽ có chức năng điều khiển các flowmeters, cho phép các loại khí như: Ar, H 2 , C 2 H 2 hoặc CH4… đi vào bên trong lò phản ứng với lưu lượng chính xác. tải về 458.96 Kb. Chia sẻ với bạn bè của bạn:
|