Nghiên cứu công nghệ và các điều kiện chế tạo Ống nano cacbon đơn tường swcnts định
tải về 458.96 Kb. Chế độ xem pdf
|
| MFC
Valve Gas in Gas out Ethanol Ar H 2 Quartz tube Sample Quartz plate Furnace Furnace Rail Hình 2.3. Sơ đồ hệ thiết bị CVD nhiệt sử dụng để chế tạo SWCNTs - Bước 3: thiết lập các thông số cho hệ lò để thực hiện quá trình nâng nhiệt từ nhiệt độ phòng (27 o C) đến nhiệt độ cần thiết CVD là 900 o C trong thời gian 40 phút. Mở các van khí ở hai bình H 2 , Ar, hiệu chỉnh lưu lượng khí đi qua MFC (bộ lưu tốc khí điện tử) bằng hệ thiết bị điện tử GMC 1200. Trước khi nâng nhiệt cho khí Ar đi qua lò với lưu lượng 800 sccm, trong thời gian 10 phút, để làm sạch lò đẩy các khí còn dư, tạp bẩn ra. - Bước 4: điều chỉnh lưu lượng khí mang Ar về 100 sccm, tiến hành bật lò đốt để bắt đầu thực hiện quá trình CVD. Hình 2.4. Giản đồ nhiệt của quá trình CVD - Bước 5: Khi nhiệt độ của hệ lò đạt tới 850 o C, tiến hành mở khí H 2 , đồng thời đưa khí Ar (đóng van 1, mở van 2 và 3 trên hình 2.9) xục qua bình thủy tinh 2 cổ, mang hơi cồn C 2 H 5 OH vào trong lò. Mục đích của việc này là để đảm bảo dòng khí bên trong ống thạch anh ổn định và đủ lượng hơi cồn trước khi tiến hành CVD. Khi nhiệt độ hệ lò đạt tới 900 o C, thực hiện dịch chuyển lò, đưa mẫu vào tâm vùng nhiệt, bắt đầu quá trình CVD trong thời gian 60 phút. - Bước 6: Kết thúc quá trình nuôi SWCNTs, ngắt khí Ar xục qua hơi cồn (đóng van 2 và 3, mở van 1), tắt khí H 2 . 2 3 1 5 - Bước 7: tiếp tục thổi khí mang Ar cho đến khi nhiệt độ lò hạ xuống dưới 150 o C, mục đích tránh để CNTs cháy khi nhiệt độ trong lò còn đang cao, sau đó tắt khí Ar để cho lò hạ về nhiệt độ phòng, mở lắp lấy mẫu, kết thúc quá trình thí nghiệm. tải về 458.96 Kb. Chia sẻ với bạn bè của bạn:
|