Nghiên cứu công nghệ và các điều kiện chế tạo Ống nano cacbon đơn tường swcnts định
tải về 458.96 Kb. Chế độ xem pdf
|
| 2.2 Quy trình chế tạo
2.2.1 Chuẩn bị mẫu Trước khi tiến hành CVD nhiệt, các mẫu Si được xử lý sạch bề mặt bằng phương pháp rung siêu âm trong các dung môi hóa học nhằm loại bỏ những tạp bẩn và các chất hữu cơ không mong muốn còn bám trên bề mặt của đế. Các đế Si được dùng để chế tạo ống nano cacbon đơn tường có kích thước 0.5cm × 1cm và 0.5cm × 0.5cm. Chúng tôi sử dụng hai dung dịch là aceton và cồn ethanol C 2 H 5 OH để làm sạch đế Si với quy trình làm sạch như sơ đồ hình 2.6 bên dưới. Hình 2.6. Quy trình xử lý hóa làm sạch bề mặt đế Si Các đế Si được đưa vào cốc thủy tinh, sau đó đổ từ từ dung dịch aceton vào cốc, bật máy rung siêu âm trong khoảng thời gian 15 phút để làm sạch, tiếp đó các đế này được lấy ra rửa sạch 3 lần bằng nước cất. Chúng tôi thực hiện quy trình trên lần lượt 3 lần với dung môi aceton và 1 lần với ethanol để đảm bảo toàn bộ tạp bẩn bám trên đế được loại bỏ. Các đế Si sau khi xử lý hóa, được sấy khô và bảo quản trong các hộp thủy tinh sạch để đem đi tiến hành CVD nhiệt. Hình 2.1. a) Đế Si sạch; b) máy rung siêu âm Sau khi các đế Si đã được làm sạch, chúng tôi tiến hành phủ xúc tác lên bề mặt đế bằng hệ thiết bị quay phủ ly tâm được đặt tại Phòng thí nghiệm trọng điểm, Viện KHVL. Dung dịch muối FeCl 3 , nồng độ 0.1M được spin-coating lên đế Si để tạo lớp xúc tác có chứa Fe kích thước nano trước khi tiến hành mọc SWCNTs. Hình 2.2. a) Thiết bị quay phủ spin-coating; b) thực hiện nhỏ dung dịch FeCl 3 lên đế Si sạch; c) dung dịch FeCl 3 0.1M a) b) a) b) c) b) c) 4 2.2.2 Quy trình chế tạo SWCNTs trên hệ thiết bị CVD nhiệt Hình 2.9 là hệ sơ đồ các thiết bị để thực hiện chế tạo ống nano cacbon đơn tường sử dụng phương pháp CVD nhiệt nhanh, quy trình tiến hành thực nghiệm bao gồm các bước sau: - Bước 1: trước khi thực hiện CVD, cần phải kiểm tra hệ lò, bình khí, các khớp nối, các van đóng mở trên hệ thiết bị để đảm bảo công việc sẽ được thao tác chính xác. - Bước 2: đưa xúc tác vào: ở đầu khí ra của hệ lò, có một cửa đóng mở, thuyền bằng thạch anh có chứa mẫu là các đế Si được đưa vào lò nhiệt để thực hiện CVD bằng cửa này tải về 458.96 Kb. Chia sẻ với bạn bè của bạn:
|