KÍCH THƯỚC HẠT:
Đây là một trong những nhân tố quan trọng ảnh hưởng tới tính nhạy khí. Theo các nghiên cứu có hai hiệu ứng của kích thước hạt ảnh hưởng đến bề mặt của màng:
Theo hiệu ứng hình học: đối với cảm biến làm ở dạng mỏng, việc tăng tỉ số S/V đồng nghĩa với việc giảm kích thước hạt. khi kích thước giảm, diện tích tiếp xúc bề mặt tăng và độ nhạy cảm biến tăng.
Theo hiệu ứng vật lý: rào thế năng giữa các biên hạt phụ thuộc vào kích thước hạt và đồng thời nó cũng ảnh hưởng đến độ dẫn của màng. Cho nên khi kích thước hạt của vật liệu làm cảm biến thay đổi, độ nhạy của cảm biến cũng thay đổi. Điều này được biểu diễn qua phương trình Arrchenius:  trong đó:  là độ dẫn khối,  là hằng số Boltzmann, T là nhiệt hấp phụ,  là rào thế năng giữa hai hạt kề nhau. Khi kích thước hạt giảm thì tăng thì độ dẫn tăng.
Chia sẻ với bạn bè của bạn: |
