Thời gian hồi phục là khoảng thời gian lúc khí thử giải hấp ra khỏi màng đến đến khi điện trở hồi phục đến giá trị được tính như sau: khi khí thử được giải hấp ra khỏi màng điện trở màng hồi phục tới giá trị sao cho . Trong đó là độ chênh lệch điện trở cực đại, là điện trở màng nhỏ nhất khi có khi thử.
được tính như sau: khi khí thử được giải hấp ra khỏi màng điện trở màng hồi phục tới giá trị 
. Trong đó 
là độ chênh lệch điện trở cực đại, 
là điện trở màng nhỏ nhất khi có khi thử.