MỤc lục I. TỔng quan về MÀng hóa dùng làm cảm biến khí (trang 1)
CẤU TRÚC MÀNG XẾP CHẶT VÀ CẤU TRÚC MÀNG XỐP
tải về 7.74 Mb.
|
| CẤU TRÚC MÀNG XẾP CHẶT VÀ CẤU TRÚC MÀNG XỐP:
Màng có hai loại cấu trúc khác nhau lá cấu trúc xếp chặt và cấu trúc xốp, tùy vào từng loại cấu trúc màng mà hình thành điện trở khác nhau. 
 
Hình vẽ: cấu trúc màng xốp(b) và màng xếp chặt(a) Đối với màng xếp chặt, sự thay đổi độ dẫn chỉ chủ yếu xảy ra trên bề mặt, khi đó có thể coi điện trở của bề mặt và điện trở của cấu trúc khối là hai điện trở mắc song song (h.vẽ). gọi  là các điện trở bề mặt và điện trở khối tương ứng. Do có sự hấp phụ khí oxi bề mặt nên  . Khi đó tổng trở của màng  sẽ là : 
Từ phương trình trên ta thấy đối với màng xếp chặt, tổng trở của màng ít khi bị chi phối bởi điện trở bề mặt  . Nghĩa là, độ nhạy của màng rất kém hoặc sẽ không có tín hiệu thay đổi.
Đối với một cảm biến nhạy khí, để thu được tín hiệu màng được phuu3 hai điện cục giữa màng và điện cực tạo ra một điện trở tiếp xúc  . Điện trở của màng sau khi phủ điện cực được xác định:  (*)
Vì vậy đối với màng có cấu trúc xếp chặt, sự tiếp xúc giữa điện cực với màng rất quan trọng, đó là một yếu tố không thể bỏ qua khi tạo cảm biến. Đới với màng có cấu trúc xốp thì trong vi cấu trúc màng có các biên hạt và giữa các biên hạt sẽ tồn tại các điện trở  . Điện trở này được sinh ra do quá trình hấp phụ khí oxi và tạo nên các vùng nghèo giữa các biên hạt. Khi đó tổng trở của màng sẽ là tổng của các điện trở nối tiếp nhau: 
Hình vẽ: sự hình thành điện trở của màng có cấu trúc xốp Điện trở của màng có cấu trúc xốp sau khi phủ điện cực: 
Vì  (**) với là điện trở của điện cực.
Từ phương trình (**) ta thấy, trong cấu trúc xốp, có thể bỏ qua đei65n trở tiếp xúc của điện cực với màng. So sánh (*) và (**) cho thấy, điện trở của màng có cấu trúc xốp có điện trở lớn hơn nhiều so với màng có cấu trúc xếp chặt. điện trở của cấu trúc xốp rất lớn làm cho sự thay đổi điện trở trước và sau khi có khí dò thay đổi không đáng kể. Do đó độ nhạy của màng cao hơn so với màn có cấu trúc xếp chặt. Каталог: Cao%20hoc%20quang%20dien%20tu -> Semina%20tren%20lop Semina%20tren%20lop -> BÀi tập quang phổ laser trên lớp cao học quang đIỆn tử K18 Bài 1 tải về 7.74 Mb. Chia sẻ với bạn bè của bạn:
|