SỰ PHA TẠP- VAI TRÒ CỦA CHẤT XÚC TÁC:
Mục đích của pha tạp là để kiểm soát tính chất bề mặt của màng oxit bán dẫn nhằm tăng độ nhạy và giảm nhiệt độ hoạt đọng của cảm biến khí, đồng thời còn có tác dụng tăng tính chọn lọc cho đầu dò.
Ví dụ: ảnh hưởng của chất pha tạp lên tính chọn lọc của cảm biến bán dẫn với vật liệu nền là  được cho bởi bảng sau:
Chất pha tạp
|
Khí cần dò
|
CaO
|
Khí có mùi
|
|
|
|
|
Pd
|
CO,
|
Pt
|
CO
|
|
CO,
|
Kim loại thuộc nhóm III( Ga,Al,In)
|
|
|
CO
|
II.CÁC PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO MÀNG HÓA
Các loại màng hóa:
Chia sẻ với bạn bè của bạn: |
